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Heateflex推出適用半導體製程的新型HC管線用加熱器及加熱器/混合器

本文作者:Heateflex       點擊: 2015-09-02 10:45
前言:
創新設計為先進製程應用方案提升潔淨度與可靠度
2015年9月2日--全球超高純度工業應用精密溫度控制方案領導供應商 Heateflex Corporation今日推出半導體製程管線用加熱器、及液體加熱器/混合器等兩款新產品。HC 管線用加熱器與加熱/混合器含氟聚合物產品的造型精巧,乃專為嚴苛半導體製程環境提供卓越可靠性而設計。

全新的HC管線用加熱器包含特殊的內部裝置而無需使用封膠,以增加可靠度。加熱管上的頂焊管帽可取代O型環,防止可能的微粒污染。此加熱器的核心為輕量、全 PFA 浸水面的 Heateflex 特製加熱線圈。此專利加熱元件可對製程需求快速反應,輕量的特性讓加熱器能均勻導熱,在短時間內達到設定的溫度。HC管線用加熱器提供各種規格,輸出範圍為2–10 千瓦(kW), 電壓範圍為120–480伏特。

Heateflex亦推出HC管線用加熱器/混合器,將混合功能與一般管線用加熱器的功能與優點結合。此產品精巧的體積可加熱並混合液體,非常適合小空間廠房使用。混合器能以不同的流動速率混合最多三種不同的液體,而內部擋板與加熱元件的結合能將液體均勻混合並加熱後輸出。HC加熱器/混合器的輸入歧管可360度旋轉,可滿足特殊的配管需求,並以垂直或水平的安裝方式節省空間。

Heateflex總裁暨執行長Jorge Ramirez表示:「全新的Heateflex HC管線用加熱器與管線用加熱器/混合器的體積精巧,可滿足半導體產業的複雜需求,包括高可靠性與製程純淨度。我們很自豪能將這兩款全新產品加入我們超高純度加熱設備廣泛齊全的產品線,希望能滿足最嚴苛的產業應用需求。」

Heateflex簡介
Heateflex Corporation專精氣體與液體的溫度控制應用,適用於半導體、生命科學、與其他精密製造產業。Heateflex 提供客製化、高純度的液體與氣體加熱冷卻設備,包括化學加熱器、去離子水加熱器、氣體加熱器、蒸氣加熱器、及熱交換器。這些應用方案能精確、有效地控制溫度,亦能配合客戶的獨特應用需求。Heateflex 擁有超過17個科技領域的專利,也持續為目標產業部門研發次世代工具。欲瞭解更多資訊,請瀏覽
http://www.heateflex.com

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